特点: 

小型的台式设备

可调节射频功率

输出功率为低、中、高三档可调

基本型PDC—32G—2

—清洗舱：长6.5英寸（165mm），直径3英寸(76mm)的耐热玻璃清洗舱。

—可以移动的密封清洗舱门

— 最大为18 W的射频线圈

— 1 / 8英寸NPT针阀用来控制其气流量和清洗舱压力。

— 1 / 8英寸NPT三通阀用来在进气、隔离清洗舱和排气之间迅速转换。

—设备重量：13磅 （5.9 Kg）

— 外形尺寸：8 x10 x 8.5（高x宽x长）英寸 （203x254x216）mm

电源: 

真空泵要求

等离子清洗机的清洗舱需要的真空泵最低抽速应为1.4 m3/hr （ 0.83立方英尺），

最终的总压力为200 mTorr （ 0.27 mbar ）或更低。